Home > Á¦Ç°¼Ò°³ > UHP¿ë Á¦Ç° _



 
MODEL U801
Accuracy
 ¡¾1.0% Full Scale
Repeatability  ¡¾0.20% Full Scale
0-5VDC output  °¡´ÉÇÔ
0-10VDC output  °¡´ÉÇÔ
4-20mA output  °¡´ÉÇÔ
Wetted Materials  PTFE, Sapphire
Temperature Rating  STD 0 to 55¡É
HT option 0 to 90¡É
Pressure Rating  60psig Max. working
80psig overpressure
Minimum Flow Range  15§¢/min, H2O
Maximum Flow Range  10LPM, H2O
Valve  PTFE Cam-driven diaphragm
Response Time  Typically<3sec. for 97% of F.V

Á¦Ç° Á¤º¸

 

¸ðµ¨ U801ÀÇ Æ¯Â¡Àº Á¦°øµÇ´Â ÄÁÆ®·Ñ ¸ðµâ·Î À¯·® Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇϵµ·Ï ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù.


¢ºÆ¯Çã Ãâ¿øµÈ microturbineÀº  ¡°No zero drift¡±¿Í ³ôÀº ÀçÇö¼ºÀÇ flow ÃøÁ¤°ªÀ» Á¦°ø ÇÒ °Í ÀÌ´Ù.

¢º¸ðµç high-purity Á¢ÃË Ç¥¸é: PTFE, Kal-Rez, ±×¸®°í »çÆÄÀ̾î·Î¸¸ µÇ¾îÀÖ´Ù.

¢ºCMP slurries, acids, solvents¹× ±× ¿ÜÀÇ ¿©·¯ high-purity ¾×ü¿¡ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.

 Model U801 Ultra-High-Purity(UHP) Flo-Controller´Â ÃÖÀú 15 mL/minute, ÃÖ°í 10 LPM ±îÁö ¾î¶°ÇÑ À¯Ã¼ÀÇ flow rate µµ Á¤È®ÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇÏ°í Á¶ÀýÇÑ´Ù.

ƯÇã µî·ÏµÈ microturbine À¯·® sensorÀÇ µ¶Æ¯ÇÑ µðÀÚÀÎÀÌ ÀÌ·± ¹Ýº¹ÀûÀÎ °á°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï µµ¿Í ÁÙ °ÍÀÌ´Ù.ÀÌ Controller SystemÀº À¯Ã¼¿¬°áºÎ°¡ ÀÖ´Â Valve Module°ú Àü±âÀûÀÎ ¿¬°áºÎ°¡ ÀÖ´Â Control Module·Î µÇ¾îÀÖ´Ù.  

 

Model U801 UHP Flo-controller¿¡ ÀåÂøµÈ ºñ·Êdouble-diaphragm Valve´Â flow rateÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¶Àý ÇÒ °ÍÀÌ´Ù. McMillan»ç¿¡ ÀÇÇؼ­ µðÀÚÀÎµÈ °ÍÀ¸·Î Á¤»óÀûÀÎ ¿îÀü Á¶°Ç ÇÏ¿¡¼­ ¾ÆÁÖ ±ä ¼ö¸íÀ» º¸ÀåÇÑ´Ù.¼ö ¹é¸¸¹øÀÇ ÀÛµ¿½ÃÇè¿¡¼­µµ ValveÀÇ ¼Õ»ó ¾øÀÌ Àß »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

 

¡¾1.0% ÀÇ Á¤¹Ðµµ´Â (including linearity &hysteresis)  ÃֽŠ¸¶ÀÌÅ©·Î ÀüÀÚ°øÇÐ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀÇ ±î´Ù·Î¿î °ü¸® ¿ä±¸¸¦ ¸ÂÃß¾îÁØ´Ù. ´Ù¸¥ Á¦Ç°°ú ºñ±³ ÇÒ ¼ö ¾ø´Â ÀÏ°üÀûÀÎ ÀçÇö¼ºÀÇ °á°úµéÀº »ç¿ëÀÚµéÀÌ ¾È½ÉÇÏ°í °øÁ¤°úÁ¤¿¡ »ç¿ëÅä·Ï ÇÒ °Í ÀÌ´Ù. 0-90¡ÆC ÀÇ °í¿Â¿ë »ç¾çÀº ´ëºÎºÐÀÇ UHP ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÀÀ¿ëµÉ¼ö ÀÖÀ» °Í ÀÌ´Ù.

 

»ó¼¼ÀÛµ¿¿ø¸®

 

¾×ü UHP ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ Model U801 Liquid Flo-Controller Àº mass flow controller (MFC) ÀÇ ±âü (gas) »ç¿ë½Ã¿Í Èí»çÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÀÛµ¿µÈ´Ù. »ç¿ëÀÚ³ª ´Ù¸¥ ¿ÜºÎ ÀåÄ¡ (´Ü¸»±â) °¡ controller ¿¡ ½ÅÈ£¸¦ º¸³½´Ù. ÀÌ·¸°Ô º¸³»¾îÁø ½ÅÈ£´Â ½ÇÁ¦ÀÇ flow rate °ú ÅëÇÕµÇ¾î ½Ç½Ã°£À¸·Î ºñ±³ÇÏ°Ô µÈ´Ù.  µÎ°³ÀÇ ½ÅÈ£¿¡¼­ ¾î¶°ÇÑ Â÷ÀÌ¶óµµ ¹ß°ßµÇ¸é º§ºê ³»ºÎ¿¡¼­ Á¶Á¤µÇ¾î ¿äûµÈ È帧 ºñÀ²À» ÀÚµ¿ÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇÏ¿© ÁØ´Ù.

 

U801 ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â flow sensor ´Â McMillan ÀÌ Æ¯Çã¹ÞÀº microturbine À» ÀåÂøÇÏ¿´´Ù. Pelton Å;îºóÀÇ ±â¼úÀ» Microturbine ¿¡ Á¢¸ñ½ÃŲ°ÍÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº À¯ÇüÀÇ µðÀÚÀÎÀº ¾à 0.8 ÀÎÄ¡¿¡ (20 mm)  ÃʼÒÇüÀÇ  microturbine ÈÙÀÇ »ç¿ëÀ» °¡´ÉÄÉÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌÁ¦Ç°Àº °íÁ¤µÇ¾îÀִµΰ³ÀÇ ¸Å¿ì ÀÛÀº »çÆÄÀÌ¾î º£¾î¸µÀÌ »çÆÄÀÌ¾î »þÇÁÆ®¸¦ ¹ÞÃÄÁÖ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÈÙ°ú »þÇÁÆ®°¡ °¡º±±â ¶§¹®¿¡ microturbine ÈÙÀº ¾×ü»ó¿¡¼­ ¶°¿À¸£°Ô µÈ´Ù.  ÀÌ È¿°ú·Î Åͺó-ÈÙÀ» º£¾î¸µÀÇ Áß¾Ó¿¡ ¸Å´Þ·ÁÀÖ°Ô ÇØÁÜÀ¸·Î½á »þÇÁÆ®¿Í º£¾î¸µÂÊÀÇ ¸¶¸ð°¡ »ý±âÁö ¾ÊÀ¸¸ç particle ÀÌ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â ¿ø¸®°¡ µÈ´Ù.

 

À¯·® ¹üÀ§¿¡ µû¶ó Á¤¹Ð±â°è·Î °¡°øµÈ ±¸¸Û(¿À¸®Çǽº)À» ÅëÇÏ¿© À¯·®ÀÌ ¼¾¼­¸¦ Åë°úÇϸé ÀÌÈ帧ÀÌ ÈÙ·Î Àü´ÞµÇ°í, À¯·®ÀÌ Áõ°¡ ÇÒ ¼ö·Ï ÈÙÀÇ È¸Àü ¼Óµµµµ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÓµµÀÇ Áõ°¡´Â À¯·®ÀÇ È帧 ºñÀ²°ú Á¤ºñ·ÊÇÑ´Ù.

 

Microturbine ÈÙÀº, ÈÙÀÇ Áß¾Ó ºÎºÐ¿¡¼­  °í¸¥ °£°ÝÀ» À¯ÁöÇÑ 8°³ÀÇ ÀÛÀº ±¸¸ÛÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁ®ÀÖ´Ù.

±× ÈÙÀÌ È¸ÀüÇϸ鼭, Àû¿Ü¼± ±¤¼±ÀÌ Å×ÇÁ·Ð âÀ» ÅëÇØ ÈÙ¿¡ Åõ¿µµÈ´Ù..

ÈÙÀÇ ´Ù¸¥ Æí¿¡ ÀÖ´Â ¼¾¼­´Â °¢°¢ÀÇ ±¸¸ÛÀ» °¨ÁöÇÏ°í ½ÅÈ£¸¦ Æĵ¿À¸·Î º¯ÇüÇÏ¿©ÁØ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î, ÈÙÀÇ È¸ÀüÀÌ ºü¸£¸é ºü¸¦¼ö·Ï ´õ ¸¹Àº Æĵ¿ÀÌ ¸¸µé¾îÁö°í, ÈÙÀÇ È¸ÀüÀÌ ¸ØÃ߸é Æĵ¿Àº »ý¼ºµÇÁö ¾Ê´Â´Ù.

 

U801Àº ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿¡¼­´Â ÈçÇÑ double-diaphragm ÇüÅÂÀÇ ¹ëºê¸¦ °áÇÕÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ¹ëºê´Â  Á¤È®ÇÑ Á¦¾î¿Í ¹Ýº¹ÀûÀÎ °á°ú¸¦ Á¦°øÇϱâ À§ÇØ °íµµÀÇ stepper ¸ðÅÍ·Î ÀÛµ¿µÈ´Ù.

Diaphragm ¹ëºê´Â ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ À¯Áö°ü¸®°¡ ¿ä±¸µÇ¸ç ¼ö¹é¸¸ ¹øÀÇ ÀÏ·Ã °Ë»ç¸¦ °ÅÃƾ Á¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵÇÁö ¾Ê¾Æ ¼ö³â°£, ¹ÏÀ» ¼ö ÀÖ´Â ¼­ºñ½º¸¦ ¹Þ°Ô µÊÀ» È®½ÅÇÑ´Ù.