Home > Á¦Ç°¼Ò°³ > °¡½º¿ë Á¦Ç° _



 
MODEL 80SD
Accuracy
 ¡¾1.5% F.S
(10-100% rated flow)
0-5VDC output  °¡´ÉÇÔ
Pressure Rating  500psig (34.5 bar)
Minimum Flow Range  0-50 sccm
Maximum Flow Range  0-10 LPM
Integrated Display  3.5 digit LCD flow rate display
Compatible Fluids  Clean drygases
Valve  Normally Closed
Warm-Up Time  5ºÐ À̳»
Body Material  stainless steel

Á¦Ç° Á¤º¸
  

Model 80SD Display Mass Flo-ControllerÀÇ Æ¯Â¡.


¢ºÄÜÆ®·ÑDisplay ÀÏüÇüÀÇ Mass Flow Controller.

¢ºÈ­ÇÐÁ¦Ç°°úÀÇ È£È¯À»À§ÇÑ Stainless steel body ±¸Á¶.

¢ººü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú No zero drift¸¦ À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ÄÚÀÏ µðÀÚÀÎ.

 

¸ðµ¨ 80SD Mass Flow Controller ´Â ¾î¶°ÇÑ Clean, Dry °³½º¿¡¼­µµ »ç¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.

0-50SCCM ¿¡¼­ 10LPM±îÁöÀÇ ¿ë·®ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÑ Sensor µðÀÚÀÎ ±â¼ú·ÂÀº ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Zero Drift ¿Í ºü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú ÀçÇö¼ºÀÖ´Â ¼±ÇüÈ­µÈ Ãâ·ÂÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀÌ´Ù.

ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡°Ý°ú °£°áÇÑ ±¸Á¶ÀÇ ¿Ü°üÀº »ê¾÷ü ¹× Çб³, ¿¬±¸¼Òµî°ú OEMÁ¦Ç°À¸·Î Æø³Ð°Ô ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.

°£´ÜÇÑ »ç¿ë ¿¹¸¦ »ìÆ캸¸é FurnaceÀÇ À¯·® Á¶Àý, ¿ø°ÝÀ¸·Î °³½ºÀÇ È¥ÇÕ, »ùÇà °³½º È帧ÀÇ Á¶Àý ¹× Á¤¹ÐÇÏ°Ô °³½º¸¦ ÁÖÀÔÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛ µî¿¡ ÀÌ¿ëµÉ °ÍÀÌ´Ù.

¾Ë·ç¹Ì´½ ¸öü ±¸Á¶¿¡ Metal FittingÀÌ ±âº»À̸ç AnalogÀÔ·ÂÀ¸·Î Set Point¸¦ ÁÙ ¼ö ÀÖ°í  Analog Ãâ·ÂÀ¸·Î´Â ¿ø°Ý µ¥ÀÌÅÍ MonitoringÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù.

ÀÌ Á¦Ç°¿¡´Â 1MÀÇ ÄÉÀ̺íÀÌ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖ°í ÀÛµ¿À» À§Çؼ­´Â ¹Ý´ëÆí ÄÉÀ̺í Á¶¸³ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

 

Model 80SDÀÇ ±¸¼ºÆ¯Â¡

 

Model 80SD´Â 3 °¡ÁöÀÇ ´Ù¸¥ ±âü¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. (¾ÕÀÇ display panel ¿¡¼­ ¼±ÅÃÇÔ)

Model 80SD´Â 3.5 digit LCD Display¿¡ ¼ýÀÚ¸¦ Ç¥½ÃÇϵµ·Ï ±â´ÉÀ» ´õÇÏ¿´´Ù.

¶ÇÇÑ °í°´Àº ÃÖ´ë 3°¡ÁöÀÇ °¢±â ´Ù¸¥ ±âü¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µðÀÚÀÎµÈ 80D¸¦ ±¸ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. (ÇÑ°¡Áö ±âü¿¡¸¸ ¸ÂÃá ±â´ÉÀÌ ±âÁØÀ̸ç , Ãß°¡ ½Ã ºñ¿ë¹ß»ý).

Model 80SDÁ¦Ç°ÀÌ °øÀå Ãâ°í ¶§ºÎÅÍ ´Ù¼öÀÇ ±âü¿¡ »ç¿ë °¡´ÉÄÉ ÇÁ·Î±×·¥ÀÌ µÇ¾îÀÖ´Â °æ¿ì Á¦Ç° ¾Õ¿¡ À§Ä¡ÇÑ °è±âÆÇÀÇ °£´ÜÇÑ ½ºÀ§Ä¡ ÀÛµ¿À¸·Î »ç¿ëÀÚ°¡ ¿øÇϴ ȯ°æÀÇ ±âü·Î ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¶ÇÇÑ, Model 80SD ´Â »ç¿ëÀÚ°¡ ³»ºÎ/¿ÜºÎ¿¡¼­ setpoint ¸¦ ¼±ÅÃÇÏ´Â °ÍÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ³»ºÎÀÇ setpointÀ» Á¶ÀýÇϱâ À§ÇÏ¿© µÎ °³ÀÇ ¹Ì¼¼Á¶Àý ÇÉ´ÙÀ̾ó (coarse and fine) ¹æ½ÄÀÌ Á¦°øµÈ´Ù.

ÀÌ ¸ðµ¨ÀÇ External setpoint ÀÔ·ÂÀº 0-5VDC ÀÌ´Ù.