Home > Á¦Ç°¼Ò°³ > °¡½º¿ë Á¦Ç° _



 
MODEL 80
Accuracy
 ¡¾1.5% F.S
(10-100% rated flow)
0-5VDC output  °¡´ÉÇÔ
Pressure Rating  150psig (10.3 bar)
Minimum Flow Range  0-50 sccm
Maximum Flow Range  0-10 LPM
Integrated Display  ¾ÈµÊ
Compatible Fluids  Clean drygases
Valve  Normally Closed
Warm-Up Time  5ºÐ À̳»
Body Material  Aluminium

Á¦Ç° Á¤º¸
     

Model 80 Thermal Mass Flo-ControllerÀÇ Æ¯Â¡.


¢º°ß°íÇÔ°ú ½Å·Ú¼ºÀ» À§ÇÑ All-Metal ±¸Á¶.

¢º¾Ë¸ÂÀº °¡°ÝÀÌ»óÀÇ °¡Ä¡¸¦ °¡Áø Ź¿ùÇÑ Á¦Ç°.

¢ººü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú No zero drift¸¦ À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ÄÚÀÏ µðÀÚÀÎ.

 

¸ðµ¨ 80 Mass Flow Controller ´Â ¾î¶°ÇÑ Clean, Dry °³½º¿¡¼­µµ »ç¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.

0-50SCCM ¿¡¼­ 10LPM±îÁöÀÇ ¿ë·®ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÑ Sensor µðÀÚÀÎ ±â¼ú·ÂÀº ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Zero Drift ¿Í ºü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú ÀçÇö¼ºÀÖ´Â ¼±ÇüÈ­µÈ Ãâ·ÂÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀÌ´Ù.

ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡°Ý°ú °£°áÇÑ ±¸Á¶ÀÇ ¿Ü°üÀº »ê¾÷ü ¹× Çб³, ¿¬±¸¼Òµî°ú OEMÁ¦Ç°À¸·Î Æø³Ð°Ô ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.

°£´ÜÇÑ »ç¿ë ¿¹¸¦ »ìÆ캸¸é FurnaceÀÇ À¯·® Á¶Àý, ¿ø°ÝÀ¸·Î °³½ºÀÇ È¥ÇÕ, »ùÇà °³½º È帧ÀÇ Á¶Àý ¹× Á¤¹ÐÇÏ°Ô °³½º¸¦ ÁÖÀÔÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛ µî¿¡ ÀÌ¿ëµÉ °ÍÀÌ´Ù.

¾Ë·ç¹Ì´½ ¸öü ±¸Á¶¿¡ Metal FittingÀÌ ±âº»À̸ç AnalogÀÔ·ÂÀ¸·Î Set Point¸¦ ÁÙ ¼ö ÀÖ°í  Analog Ãâ·ÂÀ¸·Î´Â ¿ø°Ý µ¥ÀÌÅÍ MonitoringÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù.

ÀÌ Á¦Ç°¿¡´Â 1MÀÇ ÄÉÀ̺íÀÌ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖ°í ÀÛµ¿À» À§Çؼ­´Â ¹Ý´ëÆí ÄÉÀ̺í Á¶¸³ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.