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MODEL 106S
Accuracy
 Pulse Output:±3.0% F.S
Analog Output:±1.0% F.S
Repeatability  ±0.2% F.S
Wetted Materials  PTFE, Sapphire, Kalrez
Temperature Rating  STD 5 to 55℃
HT option 5 to 85℃
Pressure Rating  60psig Max. working
100psig overpressure
Minimum Flow Range  15㎖/min, H2O
Maximum Flow Range  50LPM, H2O

제품 정보

모델 106S의 특징은 직선(좌측에서 우측) 흐름형태를 가지며, Pulse, Analog output 이 가능.


▶특허 출원된 microturbine은  “No zero drift”와 높은 재현성의 flow 측정값을 제공 할 것 이다.

▶모든 high-purity 접촉 표면: PTFE, Kal-Rez, 그리고 사파이어로만 되어있다.

▶CMP slurries, acids, solvents및 그 외의 여러 high-purity 액체에 적용이 가능하다.

Model 106S-flow Sensor는 최저 15 mL/minute, 최고 50 LPM 까지 어떠한 유체의 flow rate 도 정확하게 측정한다.

특허 등록된 microturbine 유량 sensor의 독특한 디자인이 이런 반복적인 결과를 얻을 수 있도록 도와 줄 것이다. 

 

106S-flow sensor 는 McMillan 이 특허받은 microturbine 을 장착하였다. Pelton 터어빈의 기술을 Microturbine 에 접목시킨것이다. 이와 같은 유형의 디자인은 약 0.8 인치에 (20 mm)  초소형의  microturbine 휠의 사용을 가능케한다. 또한 이제품은 고정되어있는두개의 매우 작은 사파이어 베어링이 사파이어 샤프트를 받쳐주고 있으며, 휠과 샤프트가 가볍기 때문에 microturbine 휠은 액체상에서 떠오르게 된다.  이 효과로 터빈-휠을 베어링의 중앙에 매달려있게 해줌으로써 샤프트와 베어링쪽의 마모가 생기지 않으며 particle 이 발생하지 않는 원리가 된다.

 

유량 범위에 따라 정밀기계로 가공된 구멍(오리피스)을 통하여 유량이 센서를 통과하면 이 흐름이 휠로 전달되고, 유량이 증가 할 수록 휠의 회전 속도도 증가하게 된다.

이러한 속도의 증가는 유량의 흐름 비율과 정비례한다.

 

Microturbine 휠은, 휠의 중앙 부분에서  고른 간격을 유지한 8개의 작은 구멍으로 이루어져있다.

그 휠이 회전하면서, 적외선 광선이 테프론 창을 통해 휠에 투영된다..

휠의 다른 편에 있는 센서는 각각의 구멍을 감지하고 신호를 파동으로 변형하여준다. 그러므로, 휠의 회전이 빠르면 빠를수록 더 많은 파동이 만들어지고, 휠의 회전이 멈추면 파동은 생성되지 않는다.