TSC-D245 시리즈는 Digital 제어를 바탕으로 높은 유량정밀도와
빠른 응답속도를 실현할 수 있도록 만들어진 최고성능의 MFC 입니다.

제어신호 입력 시 2초 이내 설정유량에 도달하도록 만들어져 장비의 Tact Time 향상에 많은 도움을 줍니다.

까다로운 반도체장비,LCD, LED, SOLAR CELL, 연료전지 등 모든 분야에 사용가능합니다.

본 제품은 수년간 다양한 환경과 여러 장비에 적용되어 그 품질을 인정받았습니다.

SiH4, Ar, O2, N2, NF3, NH3, Cl2, He, H2, CH4, SF6 등 대부분의 가스에 적용가능합니다.

Normal Open Type 경우 Ingot 장비 등에서 전원 Fail 과 같은
비상상황에서 가스를 Flow 할 수 있게 설계되어 생산공정에 불량발생을 최소화 할 수 있습니다.

  1. 향상된 안정성
  2. 높은 정확성 및 반복성 (Accuracy ±1% F.S.)
  3. 빠른 응답성(2초 이내)
  4. 반응성 높은 부식성가스 및 안정성이 낮은 가스에 최적의 구조를 실현

ㆍFlow Rate : 100 ~ 400 SLM
ㆍFittings : VCR male, Swagelok

*사양

Operational	TSC-245
Full-Scale Ranges	100~400 slm
(N2 Equivalent)
Accuracy	≤ ±1.0% of Full Scale
Response Time	≤ 1.5.0sec
Linearity	≤ ±0.2% of Full Scale
Repeatability	≤ ±0.2% of Full Scale
Leak Integrity	Rubber Seal : 1x10-8Pa· m3/sec (He)
Control Range	2~100% of Full Scale
Diffrential Pressure	50kPa ~ 1MPa (Selectable)
Max Operating Pressure	1.0/2.5/5.0/10MPa (Selectable)
Proof Pressure	2.5/5.0/10/15MPa (Selectable)
Temperature	5~50°C (accuracy guaranteed between 15 and 35°C)
Control Valve Type	Normally-closed, Normally-open Solenoid
Seals	Rubber
Materials	SUS316L, SUS304, Viton, Kalrez (Selectable)
Standard Fittings	Swagelok, VCR
Connection Type	D-SUB 9Pin, D-SUB 15Pin, Micro 5Pin (Device Net)
Input Power	+15VDC ± 5% or +24VDC ± 5%
Input Signal	0~5VDC or 4~20mA, RS-485, Device Net
Output Signal	0~5VDC or 4~20mA, RS-485, Device Net

1. differential pressure, Operating Pressure 는 요구 조건에 따라 다르게 적용됩니다.
2. sccm, slm 단위는 [0℃, 1atm] 기준을 의미합니다.