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Digital PI MFC
TSC-S210P

제품 정보

  ◆ PI MFC-TSC-S200P Series

   

  ※ PI MFC란?

  하나의 가스 공급라인에 여러개의 MFC를 장착할 경우 주변 MFC의 Flow ON/OFF에

  따라 MFC 전단 압력이 변동하게 됩니다.

  이 경우 일반 MFC는 전단 압력변동에 의한 출력유량 변동이 발생하게 됩니다.

  이는 반도체 공정상 일정한 유량을 공급해 주는 프로세스에서는 치명적인 영향을

  끼칠 수 있습니다.

 

  하지만 PI (Pressure Insensitive) 기능을 갖춘 MFC는 압력센서가 내장되어있어

  1차 압력 변동을 감지하여 유량 Hunting을 방지하는 제어 알고리즘을 포함하고 있어

  압력변동에 따른 유량변동을 최소화 함으로서 안정적인 유량공급을 가능하게 합니다.