Model 80D Display Mass Flo-ControllerÀÇ Æ¯Â¡.
¢ºÄÜÆ®·ÑDisplay ÀÏüÇüÀÇ Mass Flow Controller.
¢º¾Ë¸ÂÀº °¡°ÝÀÌ»óÀÇ °¡Ä¡¸¦ °¡Áø Ź¿ùÇÑ Á¦Ç°.
¢ººü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú No zero drift¸¦ À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ÄÚÀÏ µðÀÚÀÎ.
¸ðµ¨ 80D Mass Flow Controller ´Â ¾î¶°ÇÑ Clean, Dry °³½º¿¡¼µµ »ç¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.
0-50SCCM ¿¡¼ 10LPM±îÁöÀÇ ¿ë·®ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÑ Sensor µðÀÚÀÎ ±â¼ú·ÂÀº ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Zero Drift ¿Í ºü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú ÀçÇö¼ºÀÖ´Â ¼±ÇüÈµÈ Ãâ·ÂÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡°Ý°ú °£°áÇÑ ±¸Á¶ÀÇ ¿Ü°üÀº »ê¾÷ü ¹× Çб³, ¿¬±¸¼Òµî°ú OEMÁ¦Ç°À¸·Î Æø³Ð°Ô ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
°£´ÜÇÑ »ç¿ë ¿¹¸¦ »ìÆ캸¸é FurnaceÀÇ À¯·® Á¶Àý, ¿ø°ÝÀ¸·Î °³½ºÀÇ È¥ÇÕ, »ùÇà °³½º È帧ÀÇ Á¶Àý ¹× Á¤¹ÐÇÏ°Ô °³½º¸¦ ÁÖÀÔÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛ µî¿¡ ÀÌ¿ëµÉ °ÍÀÌ´Ù.
¾Ë·ç¹Ì´½ ¸öü ±¸Á¶¿¡ Metal FittingÀÌ ±âº»À̸ç AnalogÀÔ·ÂÀ¸·Î Set Point¸¦ ÁÙ ¼ö ÀÖ°í Analog Ãâ·ÂÀ¸·Î´Â ¿ø°Ý µ¥ÀÌÅÍ MonitoringÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°¿¡´Â 1MÀÇ ÄÉÀ̺íÀÌ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖ°í ÀÛµ¿À» À§Çؼ´Â ¹Ý´ëÆí ÄÉÀ̺í Á¶¸³ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
Model 80DÀÇ ±¸¼ºÆ¯Â¡
Model 80D´Â 3 °¡ÁöÀÇ ´Ù¸¥ ±âü¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. (¾ÕÀÇ display panel ¿¡¼ ¼±ÅÃÇÔ)
Model 80D´Â 3.5 digit LCD Display¿¡ ¼ýÀÚ¸¦ Ç¥½ÃÇϵµ·Ï ±â´ÉÀ» ´õÇÏ¿´´Ù.
¶ÇÇÑ °í°´Àº ÃÖ´ë 3°¡ÁöÀÇ °¢±â ´Ù¸¥ ±âü¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µðÀÚÀÎµÈ 80D¸¦ ±¸ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. (ÇÑ°¡Áö ±âü¿¡¸¸ ¸ÂÃá ±â´ÉÀÌ ±âÁØÀ̸ç , Ãß°¡ ½Ã ºñ¿ë¹ß»ý).
Model 80DÁ¦Ç°ÀÌ °øÀå Ãâ°í ¶§ºÎÅÍ ´Ù¼öÀÇ ±âü¿¡ »ç¿ë °¡´ÉÄÉ ÇÁ·Î±×·¥ÀÌ µÇ¾îÀÖ´Â °æ¿ì Á¦Ç° ¾Õ¿¡ À§Ä¡ÇÑ °è±âÆÇÀÇ °£´ÜÇÑ ½ºÀ§Ä¡ ÀÛµ¿À¸·Î »ç¿ëÀÚ°¡ ¿øÇϴ ȯ°æÀÇ ±âü·Î ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ, Model 80D ´Â »ç¿ëÀÚ°¡ ³»ºÎ/¿ÜºÎ¿¡¼ setpoint ¸¦ ¼±ÅÃÇÏ´Â °ÍÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ³»ºÎÀÇ setpointÀ» Á¶ÀýÇϱâ À§ÇÏ¿© µÎ °³ÀÇ ¹Ì¼¼Á¶Àý ÇÉ´ÙÀ̾ó (coarse and fine) ¹æ½ÄÀÌ Á¦°øµÈ´Ù.
ÀÌ ¸ðµ¨ÀÇ External setpoint ÀÔ·ÂÀº 0-5VDC ÀÌ´Ù.
|