Model 80 Thermal Mass Flo-ControllerÀÇ Æ¯Â¡.
¢º°ß°íÇÔ°ú ½Å·Ú¼ºÀ» À§ÇÑ All-Metal ±¸Á¶.
¢º¾Ë¸ÂÀº °¡°ÝÀÌ»óÀÇ °¡Ä¡¸¦ °¡Áø Ź¿ùÇÑ Á¦Ç°.
¢ººü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú No zero drift¸¦ À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ÄÚÀÏ µðÀÚÀÎ.
¸ðµ¨ 80 Mass Flow Controller ´Â ¾î¶°ÇÑ Clean, Dry °³½º¿¡¼µµ »ç¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù.
0-50SCCM ¿¡¼ 10LPM±îÁöÀÇ ¿ë·®ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÑ Sensor µðÀÚÀÎ ±â¼ú·ÂÀº ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Zero Drift ¿Í ºü¸¥ ÀÀ´ä¼º°ú ÀçÇö¼ºÀÖ´Â ¼±ÇüÈµÈ Ãâ·ÂÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡°Ý°ú °£°áÇÑ ±¸Á¶ÀÇ ¿Ü°üÀº »ê¾÷ü ¹× Çб³, ¿¬±¸¼Òµî°ú OEMÁ¦Ç°À¸·Î Æø³Ð°Ô ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
°£´ÜÇÑ »ç¿ë ¿¹¸¦ »ìÆ캸¸é FurnaceÀÇ À¯·® Á¶Àý, ¿ø°ÝÀ¸·Î °³½ºÀÇ È¥ÇÕ, »ùÇà °³½º È帧ÀÇ Á¶Àý ¹× Á¤¹ÐÇÏ°Ô °³½º¸¦ ÁÖÀÔÇÏ´Â ½Ã½ºÅÛ µî¿¡ ÀÌ¿ëµÉ °ÍÀÌ´Ù.
¾Ë·ç¹Ì´½ ¸öü ±¸Á¶¿¡ Metal FittingÀÌ ±âº»À̸ç AnalogÀÔ·ÂÀ¸·Î Set Point¸¦ ÁÙ ¼ö ÀÖ°í Analog Ãâ·ÂÀ¸·Î´Â ¿ø°Ý µ¥ÀÌÅÍ MonitoringÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°¿¡´Â 1MÀÇ ÄÉÀ̺íÀÌ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖ°í ÀÛµ¿À» À§Çؼ´Â ¹Ý´ëÆí ÄÉÀ̺í Á¶¸³ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
|