모델 U802의 특징은 외부 모듈에서 컨트롤이 가능하도록 설계되어 있다.

▶특허 출원된 microturbine은  “No zero drift”와 높은 재현성의 flow 측정값을 제공 할 것 이다.

▶모든 high-purity 접촉 표면: PTFE, Kal-Rez, 그리고 사파이어로만 되어있다.

▶CMP slurries, acids, solvents및 그 외의 여러 high-purity 액체에 적용이 가능하다.

Model U802 Ultra-High-Purity(UHP) Flo-Controller는 최저 15 mL/minute, 최고 10 LPM 까지 어떠한 유체의 flow rate 도 정확하게 측정하고 조절한다.

특허 등록된 microturbine 유량 sensor의 독특한 디자인이 이런 반복적인 결과를 얻을 수 있도록 도와 줄 것이다.이 Controller System은 유체연결부가 있는 Valve Module과 전기적인 연결부가 있는 Control Module로 되어있다.  

Model U802 UHP Flo-controller에 장착된 비례double-diaphragm Valve는 flow rate을 정밀하게 조절 할 것이다. McMillan사에 의해서 디자인된 것으로 정상적인 운전 조건 하에서 아주 긴 수명을 보장한다.수 백만번의 작동시험에서도 Valve의 손상 없이 잘 사용하고 있다.

±1.0% 의 정밀도는 (including linearity &hysteresis)  최신 마이크로 전자공학 애플리케이션의 까다로운 관리 요구를 맞추어준다. 다른 제품과 비교 할 수 없는 일관적인 재현성의 결과들은 사용자들이 안심하고 공정과정에 사용토록 할 것 이다. 0-90°C 의 고온용 사양은 대부분의 UHP 애플리케이션에 응용될수 있을 것 이다.

상세작동원리

액체 UHP 애플리케이션을 위한 Model U802 Liquid Flo-Controller 은 mass flow controller (MFC) 의 기체 (gas) 사용시와 흡사한 방법으로 작동된다. 사용자나 다른 외부 장치 (단말기) 가 controller 에 신호를 보낸다. 이렇게 보내어진 신호는 실제의 flow rate 과 통합되어 실시간으로 비교하게 된다.  두개의 신호에서 어떠한 차이라도 발견되면 벨브 내부에서 조정되어 요청된 흐름 비율을 자동적으로 유지하여 준다.

U802 에 사용되는 flow sensor 는 McMillan 이 특허받은 microturbine 을 장착하였다. Pelton 터어빈의 기술을 Microturbine 에 접목시킨것이다. 이와 같은 유형의 디자인은 약 0.8 인치에 (20 mm)  초소형의  microturbine 휠의 사용을 가능케한다. 또한 이제품은 고정되어있는두개의 매우 작은 사파이어 베어링이 사파이어 샤프트를 받쳐주고 있으며, 휠과 샤프트가 가볍기 때문에 microturbine 휠은 액체상에서 떠오르게 된다.  이 효과로 터빈-휠을 베어링의 중앙에 매달려있게 해줌으로써 샤프트와 베어링쪽의 마모가 생기지 않으며 particle 이 발생하지 않는 원리가 된다.

유량 범위에 따라 정밀기계로 가공된 구멍(오리피스)을 통하여 유량이 센서를 통과하면 이흐름이 휠로 전달되고, 유량이 증가 할 수록 휠의 회전 속도도 증가하게 된다.

이러한 속도의 증가는 유량의 흐름 비율과 정비례한다.

Microturbine 휠은, 휠의 중앙 부분에서  고른 간격을 유지한 8개의 작은 구멍으로 이루어져있다.

그 휠이 회전하면서, 적외선 광선이 테프론 창을 통해 휠에 투영된다..

휠의 다른 편에 있는 센서는 각각의 구멍을 감지하고 신호를 파동으로 변형하여준다. 그러므로, 휠의 회전이 빠르면 빠를수록 더 많은 파동이 만들어지고, 휠의 회전이 멈추면 파동은 생성되지 않는다.

U802는 반도체 업체에서는 흔한 double-diaphragm 형태의 밸브를 결합하였다. 이 밸브는  정확한 제어와 반복적인 결과를 제공하기 위해 고도의 stepper 모터로 작동된다.

Diaphragm 밸브는 최소한의 유지관리가 요구되며 수백만 번의 일련 검사를 거쳤어도 제품의 성능이 저하되지 않아 수년간, 믿을 수 있는 서비스를 받게 됨을 확신한다.