Çѱ¹°è±âƼ¿£¿¡½º¿¡ ¿À½Å°ÍÀ» ȯ¿µÇÕ´Ï´Ù.







Home > ÀÚ·á½Ç > À¯·®°è ±â¼ú ÀÚ·á _


 MEMSÀ¯·®°èÀÇ °íÂû  06-05-10 12:14
±Û¾´ÀÌ : °ü¸®ÀÚ   Á¶È¸ : 3272
±âÁ¸ À¯Ã¼ÀÇ È帧·®À» ÃøÁ¤ÇÏ´Â À¯·®°è ´ë½Å »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Micro ElectroMechanical System(MEMS)ÀÌ ¹Ì±¹ NASA ¼Ò¼Ó John H. Glenn ¿ìÁÖ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ °³¹ßµÆ´Ù.
 ÀÏ¹Ý ±â¾÷ ¹× ¿¬±¸¼ÒµéÀÌ ±¸ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Â MEMS À¯·®°è´Â ±âÁ¸ÀÇ °Å½ÃÀû(macroscopic) À¯·®°è¿¡ ºñÇØ ÈξÀ ¿ì¼öÇÑ ÀåÁ¡µéÀ» °®°í ÀÖ´Ù.
Àç MEMSÀåÄ¡µéÀº ¼¾¼­±â¼ú¿¡ ¸¹ÀÌ ÀÀ¿ëµÇ¾î »ç¿ëµÇ°í Àִµ¥, ¿¹¸¦ µé¸é ŸÀÌ¾î ¾Ð·Â°è, °ø¾Ð Á¶Á¤±â, °ü(tube) ´©¼ö ¼¾¼­, °¡Á¤¿ë °¡Àü±â±â µî ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡ ÀÀ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
 MEMS ¼¾¼­´Â ¼ÒÇü, ÀýÀüÇü ¼³°è, ÀûÀýÇÑ °¡°Ý µîÀÌ ÀåÁ¡À¸·Î ÀÛ¿ëÇØ ¿¬±¸ °³¹ßºÐ¾ß¿¡ ÀûÀýÇÑ ¼¾¼­ ÀåÄ¡·Î Àνĵǰí ÀÖ´Ù.
 ±âÁ¸ÀÇ °Å½ÃÀû À¯·®°è´Â ¾Ð·ÂÀ» ÃøÁ¤ÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ºÎÇ°ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ÀÛÀº ±¸¸ÛÀ» ¶Õ°í Áö¸§ ¾à 1.6mmÀÇ °üÀ» ¿¬°á½ÃÄÑ °üÀ» Ÿ°í ÀüÆĵǴ ¾Ð·ÂÆĸ¦ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£·Î º¯È­½ÃŲ ´ÙÀ½ Àü±âÀûÀÎ ½ÅÈ£¸¦ À¯·®À¸·Î ȯ»êÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
 °ü ÇϳªÀÇ ¹«°Ô´Â ¹«½ÃÇÒ¸¸ ÇÏÁö¸¸ ¼ö¹é°³ÀÇ °üÀÌ À¯·®ÃøÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °æ¿ì Àüü ¹«°Ô´Â µÎ ¸íÀÇ ±â¼úÀÚ°¡ ¿î¹ÝÇØ¾ß ÇÒ ¸¸Å­ ¹«°Ì°Ô µÈ´Ù.
 ¶ÇÇÑ ÃøÁ¤ Ç¥¸é¿¡¼­ ½ÅÈ£ ¹ß»ý±â±îÁöÀÇ °Å¸®´Â ª°Ô´Â 6 m¿¡¼­ ±æ°Ô´Â ¼ö½Ê ¹ÌÅÍ¿¡ À̸£´Â º¹ÀâÇÏ°í ºÒÆíÇÑ ÀÛ¾÷ ȯ°æÀ» Á¶¼ºÇÏ°Ô µÇ´Â ºÒÆíÇÔÀÌ ÀÖ´Ù.
 ÀÌ·¸°Ô ±ä °üÀ» µû¶ó ¾Ð·ÂÀÌ ÀüÇØÁö´Â µ¿¾È »ý±â´Â ½ÃÂ÷´Â Á¤È®ÇÔÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ÃøÁ¤ÀÇ °æ¿ì Á¤»ó»óÅÂ(steady state)¿¡ µµ´ÞÇϱâ±îÁö ±â´Ù·Á¾ß ÇÏ´Â ºÒÇÊ¿äÇÑ ½ÇÇè ½Ã°£À» ¾ß±âÇϱ⵵ ÇÑ´Ù.
 MEMS¼¾¼­¸¦ »ç¿ëÇÏ°Ô µÇ¸é ±âÁ¸ÀÇ ¼¾¼­¸¦ »ç¿ëÇÔÀ¸·Î½á ¹ß»ýµÇ´Â ¸¹Àº ¹®Á¦Á¡À» ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
 Lucas NovaSensor P592 ¾ÐÀüÀúÇ× ½Ç¸®ÄÜ(piezoresistive silicon) ¼¾¼­°¡ °¡°Ý ¹× ±âŸ ±â¼úÀûÀÎ Á¶°ÇµéÀÌ »ó¾÷ÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ±â¿¡ °¡Àå ÀûÇÕÇÑ °ÍÀ¸·Î °£Áֵǰí ÀÖ´Ù.
 ¼¾¼­ÀÇ Å©±â´Â 1mm Å©±âÀÇ Á¤»ç°¢Çü ´Ü¸é¿¡ µÎ²² 0.6mmÀ̸ç 0.12mmÀÇ ¿¬°á´ÜÀÚ°¡ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù. ¼¼ °³ÀÇ MEMS ¼¾¼­°¡ ¾Ð·Â ¸ð´ÏÅÍ ´ÜÀÚ¿¡ ¼³Ä¡µÇ¾î ÀÖ´Ù. MEMS ¼¾¼­´Â ½Ç½Ã°£À¸·Î ¾Ð·Â ½ÅÈ£¸¦ Àü±â½ÅÈ£·Î Àü´ÞÇØÁֱ⠶§¹®¿¡ ±âÁ¸ÀÇ ¾Ð·Â ÃøÁ¤ÀåÄ¡¿¡ ºñÇØ ÈξÀ ºü¸£°í ½Å¼ÓÇÑ À¯·® ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
 ÀÌÀü±Û : Hybrid ÃÊÀ½ÆÄÀ¯·®°è S3c,S1x,S2x
 ´ÙÀ½±Û : ÈÞ´ë¿ë ÃÊÀ½ÆÄÀ¯·®ÃøÁ¤±â